半导体参数测试仪

半导体参数测试仪是专门面向半导体材料、分立器件、集成电路与晶圆研发和生产的高精度、集成化、自动化电气特性测试系统，是半导体器件表征、工艺验证、失效分析的核心精密仪器。它通常搭配高精度源表、脉冲源、C‑V 测量、高压 / 大电流等模块及专业测试软件，可一站式完成半导体全维度参数测量。