单通道高精度源测量单元

单通道高精度源测量单元（SMU）是专为单路精密电学测试设计、集电压 / 电流激励输出与同步高精度测量于一体的专用测试仪器，具有超高精度、低噪声、低寄生参数等特点，是半导体、精密电子、材料表征领域的核心基础测试设备。