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  • VT321 半导体参数测试仪

    VT321半导体参数测试仪,支持SMU、LCR、PGU、PMU等PXIe标准模块,满足复杂测试需求。配备15.6英寸高清屏,预装Windows 10及VTNext软件,提供I-V、C-V、脉冲I-V测试功能,内置MOSFET、BJT、二极管、电阻及电容等丰富的器件类型库,为现代半导体、材料和工艺表征提供高级测试定义、参数分析、图表绘制和自动化功能。

    产品特性 技术参数 升级与配件 资源
    • 高精密源测量单元,四象限输出
    • 高速量测,采样率1.8MS/s
    • 电压范围:±200V,电压灵敏度:100nV
    • 电流范围:±1A(直流),±3A(脉冲),电流灵敏度:10fA
    • 具备优秀的人机交互设计能力,可操作图形化控件,也可通过编写脚本的方式实现定制化测量 

    VT321_Datasheet_V1.0_2603_01.png

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    VT321 数据手册 1.0 2026-03-20 点击下载
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